高精度000级大理石平台怎么加工的？

　　大理石平台主要用于平面度检测，大理石热膨胀小，高精度的平台往往用大理石的，比如三坐标的导轨。高精度光刻，就用高精度000级大理石平台，一些芯片设备，也是安装在这类大理石平台上的，产品的检测，也在这种大理石平台检测，包括高级别的光学检测。凡是与晶片有关的设备都是高的吓人，一台办公桌大小的大理石平台价格可以上亿元，当然精度也是高的吓人了。

　　高精度000级大理石平台是手磨的，人依然是最高精度，不是说人有多神奇，是人可以一点一点地研磨，边研磨边测量，而机器是没有这种灵活性的，你到这种大平板厂子去看一下，最终的精度是人工玩出来的，低精度是机器玩的。

　　高精度的大理石平台用光学平晶来检查，就是一个厚玻璃板，两面非常平，放在大理石平台上，如果大理石平台不平，存在劈尖，底下就出现了干涉环纹，就是牛顿环，看明暗环的圈数，就能知道平面凹下或者突出多少。